半導体静電チャックの超精密加工~アルミナセラミックスの超精密研削加工~

皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日はセラミックスの研削加工の事例をご紹介いたします。 ご紹介するのは半導体製造装置に使用される静電チャックを想定したワークです。 半導体プロセスにおいて、ウエハ等を固定、搬送する為に必要な部品です。 セラミックス材が採用されることが多く、そのプレート材の加工はとても重要です。 ムーヴではφ300mmのアルミナセラミックスが搭載されたワークの超精密研削加工を行いました。 加工機はナガセインテグレックス製の超精密ロータリ研削盤RG-800を使用しました。 加工後の平面精度は0.6μm/φ300mm。...

精度と能率を追求したロータリー研削加工ならムーヴにお任せください!!

皆さんこんにちは。ムーヴです。 中型~大型の円盤状のプレートワークやリングワーク、静電チャックなどの平面加工でお困りごとがあれば、ムーヴにご相談ください。 回転精度が抜群で剛性も高い超精密ロータリー研削盤を用いて、圧倒的な平面・平行精度を実現します。精度だけでなく能率も追求したロータリー研削加工を得意としております。 ロータリー研削ならムーヴにお任せください。 =============================== 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!!...

セラミックスの超精密/超能率研削加工ならムーヴにお任せください!! ~セラミックス加工のムーヴ~

皆さんこんにちは。ムーヴです。 セラミックスの加工でお困り事があれば、ムーヴにご相談ください。 セラミックス製の真直ゲージや半導体用静電チャック、セラミックスパンチなど多数の超精密加工の実績がございます。さらに、セラミックス材への切込み量を大きくした超能率加工も可能です。 セラミックスの超精密加工ならムーヴにお任せください。 =============================== 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。...

インコネル、ニッケル等の研削加工ならムーヴにお任せください!! ~難削材加工のムーヴ~

難削材と呼ばれる材料の加工では、砥石摩耗が激しい、砥石の目づまり、精度が出ない・・・等のお悩みを皆様お持ちだと思います。 そんな時はムーヴにお任せください。 インコネルやニッケル等の耐熱合金、SUS、セラミックス、超硬合金など、難削材加工でお困りの際はどうぞムーヴまでご相談ください。 =============================== 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。 超精密加工のパイオニア 株式会社ムーヴ...

SiCウエハの超精密研削加工ならムーヴにお任せください!! ~SiC加工のムーヴ~

皆さんこんにちは。ムーヴです。 ムーヴでは、超精密定圧定量複合制御研削盤を用いて、 他ではできないSiCウエハの超精密/超能率研削加工を実現します。 ナガセインテグレックス製のこのマシンは常にワーク軸の負荷を監視し、 砥石が切れる状態を維持しながら切込みを行うシステムを構築しています。 もう一方の軸ではコンディショニングを行い、刃先は常に最適な状態になるようにしています。 従来のマシンよりも剛性が良く、非常に高い加工能率を実現しています。 SiCの加工でお悩みならムーヴにご相談ください。...

異種材の同時研削加工など、難易度の高い研削加工ならムーヴにお任せください!! ~超精密研削のムーヴ~

皆さんこんにちは。ムーヴです。 ムーヴでは、これまで多数の超精密研削加工の実績があり、様々な超精密加工に対応可能です。 超硬と鋼材の同時研削加工など、難易度の高い加工もお任せください。 超精密研削盤を用いて、他ではできない超精密研削加工を実現します。 研削加工でお悩みならムーヴにご相談ください。 =============================== 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。 超精密加工のパイオニア 株式会社ムーヴ...