非球面ミラー・レンズの鏡面研削
非球面レンズ研削盤(ナノマシン)の加工事例
世界最大サイズの
非球面ミラー・レンズ研削加工。
非球面ミラー・レンズの鏡面研削とは、ガラスなどの脆性材料ワークを非球面形状かつ鏡面状態に研削加工することです。従来、遊離砥粒を用いたラップ加工が一般的でしたが、固定砥粒を用いた研削加工でも鏡面状態に仕上げることを可能にしました。これにより大型の光学ミラー・レンズ製作にかかる時間を大幅に短縮可能になりました。弊社が加工に用いる超精密研削盤で加工されたミラーは国立天文台ハワイ観測所の「すばる望遠鏡」や広島天文台「かなた」などで採用されています。
加工サンプル
非球面ミラーの形状創成鏡面加工
形状精度:±1μm以下
面粗度:Ra 1nm,Rz 7nm
材質:クリアセラム
サイズ:φ250×50mm
加工機:N2C-53US4-N4
超精密ミラーの鏡面研削加工
形状精度:0.8μm
面粗度:Ra 1.3nm,Rz 9.9nm
材質:クリアセラム
サイズ:Φ200mm
加工機:SGC-630αS4-Zero3
せいめい望遠鏡の分割鏡の加工
製作期間:26日/枚
形状精度(修正研磨後):0.15μm以下
鏡面形状:近似球面半径10mの軸外し双曲面
材質:クリアセラム
サイズ:1000×700m扇形
加工機:N2C-1300D
せいめい望遠鏡の分割鏡の加工(加工精度)
形状精度(超精密研削加工後):1μm以下
形状精度(修正研磨後):0.15μm以下
面粗度(超精密研削加工後):rms 80nm
面粗度(修正研磨後):rms 2nm
トーリックレンズ金型の非球面研削加工
面粗度:Ra 1nm,Rz 7nm
材質:超硬
サイズ:100×24×18mm
加工機:N2C-53US4-N4
f-θレンズの非球面研削加工
形状精度:0.3μm以下
材質:BK-7
サイズ:176×20mm
加工機:N2C-53US4-N4
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