導光板などの微細加工
微細加工機（ナノマシン）の加工事例２
導光体、回折格子、レンズアレイ等
の微細パターン形状の加工に最適。
微細加工（微細溝入れ加工）とは、ダイアモンド工具を用いてNiPなどの工作物表面に直線・曲線・ドットなどの周期構造を切削加工すること。代表的なものとして導光板や反射板などのリニア・クロスプリズム加工、フレネルレンズ加工、マイクロレンズアレイ加工等があります。弊社が加工に用いるナノ加工機は「大面積を加工できる・真直性に優れる・表面粗さが高い」など切削ナノ加工の利点を極限まで発揮します。
加工サンプル
プリズム加工（1µmクロスカットシート加工）
プリズム高さ：1μm
材質：無電解ニッケルリンメッキ
サイズ：10×10mm
加工機：NIC-300S5-N3
sin曲線溝加工
（同時3軸1ナノ制御による自由曲線加工）
X-Y-Z軸の同期精度：ナノメータ
振幅：5nm 周期：40nm
ピッチ：200μm
材質：無電解ニッケルリンメッキ
サイズ：100×100×10mm
加工機：NIC-300S5-N5
リニアプリズム加工（プリズムシート加工）
X-Z軸の補間精度：20nm以下
材質：無電解ニッケルリンメッキ
サイズ：70×45×10mm
加工機：NIC-300S5-N5
曲線微細溝加工
X-Y-C軸の補間精度：150nm以下※象限突起が見られない
材質：無電解ニッケルリンメッキ
サイズ：70×45×10mm
加工機：NIC-300S5-N5
フレネルレンズ加工
溝本数：計35,605本
（R：1,080本 フレネル325本 ロゴ：34,200本）
材質：無電解ニッケルリンメッキ
サイズ：100×50×10mm
加工機：NIC-300S5-N5
↑
溝幅：117.4μm
溝深さ：27.4μm
マイクロレンズアレイ加工
（大面積・任意形状・高アスペクト）
加工個数：356,130個
面粗度：ナノオーダ
材質：銅メッキ
サイズ：297×210mm
加工機：NIC-300S5-N5
ディンプルパターン加工
（ヘソなし・鏡面・高速加工）
面粗度：Ra 2nm,Rz 15nm
穴径：φ0.5mm 穴深さ：50μm
材質：真鍮
サイズ：φ36×10mm
加工機：NIC-300S5-N5
超鏡面ミーリング加工
（燃料電池のセパレータ流路）
面粗度：Ra 35nm,Rz 232nm
コーナ輪郭精度：±1μm
材質：HPM38
サイズ：130×100×20mm
加工機：NIC-300S5-N5
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