2024年04月02日
皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日はセラミックスの研削加工の事例をご紹介いたします。 ご紹介するのは半導体製造装置に使用される静電チャックを想定したワークです。 半導体プロセスにおいて、ウエハ等を固定、搬送する為に必要な部品です。 セラミックス材が採用されることが多く、そのプレート材の加工はとても重要です。 ムーヴではφ300mmのアルミナセラミックスが搭載されたワークの超精密研削加工を行いました。 加工機はナガセインテグレックス製の超精密ロータリ研削盤RG-800を使用しました。 加工後の平面精度は0.6μm/φ300mm。...
2024年04月01日
皆さんこんにちは。ムーヴです。 セラミックスの加工でお困り事があれば、ムーヴにご相談ください。 セラミックス製の真直ゲージや半導体用静電チャック、セラミックスパンチなど多数の超精密加工の実績がございます。 さらに、セラミックス材への切込み量を大きくした超能率加工も可能です。 セラミックスの超精密加工ならムーヴにお任せください。 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。...
2024年03月29日
難削材と呼ばれる材料の加工では、砥石摩耗が激しい、砥石の目づまり、精度が出ない・・・等のお悩みを皆様お持ちだと思います。 そんな時はムーヴにお任せください。 インコネルやニッケル等の耐熱合金、SUS、セラミックス、超硬合金など、難削材加工でお困りの際はどうぞムーヴまでご相談ください。 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。 超精密加工のパイオニア 株式会社ムーヴ...
2024年03月28日
皆さんこんにちは。ムーヴです。 ムーヴでは、超精密定圧定量複合制御研削盤を用いて、他ではできないSiCウエハの超精密/超能率研削加工を実現します。 ナガセインテグレックス製のこのマシンは常にワーク軸の負荷を監視し、砥石が切れる状態を維持しながら切込みを行うシステムを構築しています。もう一方の軸ではコンディショニングを行い、刃先は常に最適な状態になるようにしています。従来のマシンよりも剛性が良く、非常に高い加工能率を実現しています。 SiCの加工でお悩みならムーヴにご相談ください。...
2024年03月27日
皆さんこんにちは。ムーヴです。 ムーヴでは超2精密なナノマシンを用いて、多彩な微細加工が可能です。 自由曲面や大面積、極小レンズなど究極のナノ加工を実現します。 微細加工でお悩みならムーヴにご相談ください。 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。 超精密加工のパイオニア 株式会社ムーヴ...
2024年03月26日
皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日はロータリ研削盤にて、2軸を同期させ、形状を創成加工した事例をご紹介いたします。 φ150mmのSKH-51材に10μmの凸形状を創成しました。 加工機はナガセインテグレックス製のロータリマルチ研削盤RG-500を使用しました。 加工した結果、10μmの凸形状の指令値に対して、9.91μmの凸形状。わずか0.09μmの形状誤差となりました。 ナガセ製のロータリマルチ研削盤はマシンの2軸補間精度も抜群なので、 ロータリ研削盤上で形状創成加工ができるのです。...
