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セラミックス 静電チャック 半導体製造装置 超精密 研削加工 平面度 株式会社ムーヴ
皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日はセラミックスの研削加工の事例をご紹介いたします。 ご紹介するのは半導体製造装置に使用される静電チャックを想定したワークです。 半導体プロセスにおいて、ウエハ等を固定、搬送する為に必要な部品です。 セラミックス材が採用されることが多く、そのプレート材の加工はとても重要です。 ムーヴではφ300mmのアルミナセラミックスが搭載されたワークの超精密研削加工を行いました。 加工機はナガセインテグレックス製の超精密ロータリ研削盤RG-800を使用しました。 加工後の平面精度は0.6μm/φ300mm。...
セラミックス 真直ゲージ 半導体用静電チャック セラミックスパンチ 超精密研削加工 株式会社ムーヴ
皆さんこんにちは。ムーヴです。 セラミックスの加工でお困り事があれば、ムーヴにご相談ください。 セラミックス製の真直ゲージや半導体用静電チャック、セラミックスパンチなど多数の超精密加工の実績がございます。 さらに、セラミックス材への切込み量を大きくした超能率加工も可能です。 セラミックスの超精密加工ならムーヴにお任せください。=============================== 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。...
インコネル ニッケル 難削材 研削加工 高能率 株式会社ムーヴ
難削材と呼ばれる材料の加工では、砥石摩耗が激しい、砥石の目づまり、精度が出ない・・・等のお悩みを皆様お持ちだと思います。 そんな時はムーヴにお任せください。 インコネルやニッケル等の耐熱合金、SUS、セラミックス、超硬合金など、難削材加工でお困りの際はどうぞムーヴまでご相談ください。=============================== 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。 超精密加工のパイオニア 株式会社ムーヴ...
SiC ウエハ 研削加工 超精密 超能率 超薄化 株式会社ムーヴ
皆さんこんにちは。ムーヴです。 ムーヴでは、超精密定圧定量複合制御研削盤を用いて、他ではできないSiCウエハの超精密/超能率研削加工を実現します。 ナガセインテグレックス製のこのマシンは常にワーク軸の負荷を監視し、砥石が切れる状態を維持しながら切込みを行うシステムを構築しています。もう一方の軸ではコンディショニングを行い、刃先は常に最適な状態になるようにしています。従来のマシンよりも剛性が良く、非常に高い加工能率を実現しています。...
微細加工 ナノマシン 自由曲面 極小レンズ ナノ加工 株式会社ムーヴ
皆さんこんにちは。ムーヴです。 ムーヴでは超2精密なナノマシンを用いて、多彩な微細加工が可能です。 自由曲面や大面積、極小レンズなど究極のナノ加工を実現します。 微細加工でお悩みならムーヴにご相談ください。=============================== 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。 超精密加工のパイオニア 株式会社ムーヴ...
ロータリー研削盤 超精密 形状創成 SKH-51 2軸補間 株式会社ムーヴ
皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日はロータリ研削盤にて、2軸を同期させ、形状を創成加工した事例をご紹介いたします。 φ150mmのSKH-51材に10μmの凸形状を創成しました。 加工機はナガセインテグレックス製のロータリマルチ研削盤RG-500を使用しました。 加工した結果、10μmの凸形状の指令値に対して、9.91μmの凸形状。わずか0.09μmの形状誤差となりました。 ナガセ製のロータリマルチ研削盤はマシンの2軸補間精度も抜群なので、 ロータリ研削盤上で形状創成加工ができるのです。...
ロータリー研削盤 形状創成加工 2軸同機 補間精度 株式会社ムーヴ
皆さんこんにちは。ムーヴです。 ムーヴではロータリー研削加工を得意としておりますが、 単に平面を削るだけでなく、機械の2軸を同期させた形状創成加工も可能です。 ムーヴが所有しているナガセインテグレックス製のロータリマルチ研削盤はマシンの2軸補間精度も抜群です。 ロータリー研削盤での加工でお悩みならムーヴにご相談ください。=============================== 難削材の加工、超精密加工、機密性の高い加工ならムーヴにお任せ下さい!! 試作加工から、量産加工、内製支援まで幅広くお役に立ちます。...
SKD-11 鏡面研削 超砥粒砥石 面粗度 平面度 #1200 研削盤 株式会社ムーヴ
皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日は平面研削盤でSKD-11を鏡面研削加工した事例をご紹介いたします。 100×100×50mmのSKD-11材のワークを鏡面研削加工しました。 粗加工は#325のCBNホイール、仕上げ加工は#1200のダイアモンドホイールを使用しました。 加工後の面粗度は10nmRa,67nmRz、平面度は0.5μm以下となりました。 今回の加工はナガセインテグレックス製の超精密成形平面研削盤SGC-630αを使用しました。 ムーヴは平面・平行・直角・鏡面にこだわった研削加工を得意としております。...
DEX40 鏡面研削 平面研削 平面度 面粗度 研削盤 株式会社ムーヴ
皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日は平面研削盤で金型ワークを鏡面研削加工した事例をご紹介いたします。 85×85×30mmのDEX40材のワークを鏡面研削加工しました。 粗加工は#325のCBNホイール、仕上げ加工は#1200のダイアモンドホイールを使用しました。 加工後の面粗度は16nmRa,112nmRz、平面度は1μm以下となりました。 今回の加工はナガセインテグレックス製の高精度成形平面研削盤SGE-520を使用しました。 ムーヴは平面・平行・直角・鏡面にこだわった研削加工を得意としております。...
SKD-11 鏡面研削 平面研削 平面度 面粗度 研削盤 株式会社ムーヴ
皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日は平面研削盤でプレート材を鏡面研削加工した事例をご紹介いたします。 1辺50mmの正六角形、厚さ25mmのSKD-11材のワークを鏡面研削加工しました。 粗加工は#325のCBNホイール、仕上げ加工は#1200のダイアモンドホイールを使用しました。 加工後の面粗度は18nmRa,111nmRz、平面度TIR:0.53μmとなりました。 今回の加工はナガセインテグレックス製の高精度成形平面研削盤SGE-520を使用しました。 ムーヴは平面・平行・直角・鏡面にこだわった研削加工を得意としております。...
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