超精密ロータリー研削盤による超精密平行・平面研削加工

皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日は超精密ロータリー研削盤による加工事例をご紹介いたします。 今回の加工はφ150mm、厚さ20mmのSKH51材3枚の平行・平面加工です。 要求精度は平行・平面精度1μm以下となっております。 コマ上で歪み抜き加工を行い、歪み抜きした面を基準面としてチャックにベタ置きし、3枚同時に加工を行いました。 結果として、平面度はTIR 0.65～0.78μmと1μm以下を達成しました。 厚み精度は0.3～0.7μmとこちらも1μm以下を達成いたしました。 ロータリー研削盤での加工でお悩みならムーヴにご相談ください。