皆さんこんにちは。ムーヴです。
本日は超精密ロータリー研削盤による加工事例をご紹介いたします。
今回の加工はφ150mm、厚さ20mmのSKH51材3枚の平行・平面加工です。
要求精度は平行・平面精度1μm以下となっております。
歪み抜き加工を行った後、その面を基準面としてチャックベタ置きで平面加工を行いました。
その結果、加工後の平面度は1枚目A面：0.65μm、B面：0.70μm、2枚目A面：0.78μm、B面：0.78μm、3枚目 A面：0.73μm、B面：0.75μmとなり、3枚両面ともに平面度1μm以下を達成しました。
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