皆さんこんにちは。ムーヴです。
前回に引き続き、クリアセラムの超精密真直加工についてのお話しです。
加工プロセスをご紹介します。
まず、マスターゲージを加工機SGC-630αの機上でマイクロセンスにて計測を行いました。
その機上測定値とマスターゲージ本来の測定値を比較してSGC-630αの真直精度を算出しました。
その算出値に逆位相をかけた数値を補正値として、スマートサーフアップにてポイント入力して加工を行いました。
加工後の真直度は0.08μm/570mmとなりました。
次回も引き続きクリアセラムの超精密真直研削加工についてご紹介いたします。
お楽しみに！！
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