皆さんこんにちは。ムーヴです。
前回に引き続き、クリアセラムの超精密真直加工についてのお話しです。
被削材は570×60×55mmのガラスゲージ（被削材：クリアセラム）。
加工機はナガセインテグレックス製の超精密成形平面研削盤SGC-630αです。
SGC-630αは多面拘束油静圧案内面とリニアモータ駆動（前後軸・左右軸）を採用したマシンです。
精度評価は0.3μm/600mmの真直精度のマスターゲージを基準としました。
加工プロセスについては次回ご紹介いたします。
お楽しみに！！
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