超精密ロータリー研削盤による平行・平面加工～ワークの歪み抜き～

皆さんこんにちは。ムーヴです。 超精密ロータリ研削盤による加工事例をご紹介いたします。 今回の加工はφ150mm、厚さ20mmのSKH51材3枚の平行・平面加工です。 要求精度は平行・平面精度1μm以下となっております。 面出し加工を行ったあとのワークの平面度は2μm。 要求精度をクリアするためには歪み抜き加工が必要です。 今回はコマの上にワークを置いて加工しました。 チャック上にベタ置きで加工すると、基準面がチャック上面の形状に倣ってしまい、平面度が良くなりません。つまり、歪みを持つワークが強制的に磁力で平になり、加工してもチャックの磁力を切るとワークは歪んだ状態に戻ってしまいます。 従って、歪みを抜く際には、ワークをチャックの磁力を受けない状態で加工する必要があります。 超精密ロータリー研削加工ならムーヴにお任せください！！