大型SiC材のロータリ研削加工～加工サンプルのご紹介～

皆さんこんにちは。ムーヴです。 ムーヴではSiCウエハの加工を得意としておりますが、本日はロータリ研削盤での加工実績をご紹介致します。 φ420mmの多結晶SiC材をロータリ研削盤にて研削加工したワークです。 加工機はナガセインテグレックス製のロータリマルチ研削盤RG-800を使用しました。 加工前は平面度0.2mm/420mmだったワークを、ナガセ製の剣山治具を用いて加工して平面度10μm以下、厚み精度0.5μmに加工しました。 ムーヴでは高剛性なロータリ研削盤を使って、SiCのような難削材も確実な切込みでサクサク削ることができます。様々な部材加工に活用できます。 ロータリ研削盤の加工ならムーヴにお任せ下さい。