超精密ロータリ研削盤による平行・平面加工について～その15～

皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日も超精密ロータリ研削盤による加工事例をご紹介いたします。 今回の加工はφ150mm、厚さ20mmのSKH51材3枚の平行・平面加工です。 要求精度は平行・平面精度1μm以下となっております。 加工したワークの平面度は3枚両面ともに1μm以下となりました。 平行度はどうだったでしょう。 平行度の測定結果は1枚目が0.4μm、2枚目が0.7μm、3枚目が0.3μmとなり、こちらも要求精度の1μm以下となりました。 今回の平面度の測定にはTropel FM200を使用しました。 平行度の測定は、ワークを定盤上にセットし、Mitutoyo Linear Height600を用いて測定しました。 これまでご紹介した様な加工手順により、サブミクロンの平面度・平行度を達成しました。 ワークと要求精度に適した加工の手順を構築し、正しく実施すれば、ナガセインテグレックス製の超精密ロータリ研削盤のような超精密マシンの性能は正しくワークへ転写されます。 これからもムーヴではより最適な加工の手順・条件を構築していきます。 ロータリ研削盤での加工でお悩みならムーヴにご相談下さい。