超精密ロータリ研削盤による平行・平面加工について～その13～

皆さんこんにちは。ムーヴです。 本日も超精密ロータリ研削盤による加工事例をご紹介いたします。 今回の加工はφ150mm、厚さ20mmのSKH51材3枚の平行・平面加工です。 要求精度は平行・平面精度1μm以下となっております。 前回、コマ上で歪み抜き加工を行いました。歪み抜き加工を行った後の平面度は、1枚目が0.65μm、2枚目が0.78μm、3枚目が0.73μmとなり、3枚ともに平面度1μm以下となりました。 そして、歪み抜きした面を基準面としてチャックにベタ置きし、3枚同時に加工を行いました。 その結果については次回ご紹介いたします。 お楽しみに！！